Pelayanan administrasi kependudukan dan pencatatan sipil merupakan pelayanan publik yang dilakukan untuk mendekatkan dan menyediakan pelayanan yang memadai dan mudah dijangkau oleh warga. Sebelum layanan dapat menyentuh masyarakat, kemudahan bagi operator pelaksana layanan kependudukan dan pencatatan sipil yang merupakan pengguna SI/TI perlu juga diperhatikan. Terciptanya layanan yang cepat, mudah dan transparan dapat memberikan kualitas layanan yang diharapkan.Penelitian ini dilakukan untuk mengukur tingkat kualitas layanan SI/TI di Dinas Kependudukan dan Pencataan Sipil Provinsi DKI Jakarta. Sejauh mana kepuasan pengguna terhadap layanan SI/TI yang disediakan. Kepuasan terhadap kemudahan penggunaan layanan SI/TI merupakan salah satu dimensi dalam kualitas layanan dengan metode SERVQUAL. Kepuasan pengguna terhadap kualitas layanan SI/TI dikaitkan dengan melihat mekanisme tata kelola SI/TI yang dilakukan terhadap beberapa proses COBIT 5 terpilih. Kepuasan pengguna terhadap layanan SI/TI mencapai kesesuaian di atas 74 % dari tingkat yang diharapkan. Prioritas harapan perbaikan terdapat dalam kualitas layanan dimensi Reliability yang dipetakan terhadap proses tata kelola TI dari 16 proses COBIT terpilih untuk diberikan usul perbaikan terhadap harapan tingkat kapabilitas proses COBIT level 3 (established) dan level 4 (predictable).